Первоначально Инуяма-хан находилась в зависимости от Овари-хана, где правили представители рода Токугава, и считалось его дочерним княжеством. В 1868 году была признана самостоятельность княжества Инуяма от Овари-хана.
Инуяма-хан был ликвидирован в 1871 году. Территория княжества превратилась в префектуру Инуяма. Через три месяца префектура Инуяма было объединена с префектурой Нагоя, которая в 1872 году была переименована в префектуру Айти.