Меню Главная Случайная статья Настройки Оксид индия-олова Материал из https://ru.wikipedia.org Оксид индия-олова (англ. Indium tin oxide или сокращённо ITO) — полупроводниковый материал, прозрачен для видимого света благодаря большой ширине запрещённой зоны (около 4 eV), но способен отражать ИК излучение. Твёрдый раствор оксидов индия (III) и олова (IV) типично содержит 90 % первого и 10 % второго. Содержание 1 Свойства 2 Области применения 3 Методы нанесения 4 Конкурирующие материалы 5 Ссылки Свойства Является полупроводником n-типа с проводимостью, сравнимой с металлической, где ионы олова служат донорами электронов. В тонких слоях порядка 200 нм, нанесенный на стекло при температуре около 400 °С демонстрирует высокую прозрачность и имеет поверхностное сопротивление около 6 Ом/. Области применения Благодаря сочетанию высокой прозрачности и проводимости, материал используется в производстве прозрачных электродов жидкокристаллических экранов, органических светодиодов (по-английски OLED — Organic Light Emitting Diode) и сенсорных экранов (Touchscreen). Находит также применение в тонкослойных фотопреобразователях и для создания прозрачных электродов в полупроводниковых фотоприёмниках. Инфракрасные лучи ITO отражает подобно металлическому зеркалу, что даёт возможность использовать его в теплозащите. Может использоваться для создания проводящих покрытий на других материалах, что защищает от электростатических зарядов. Методы нанесения Оксид индия-олова наносят различными методами, в зависимости от нужной прозрачности и материала подложки. При нанесении на стекло используется метод напыления в высоком вакууме, но при этом подложка, на которую наносят прозрачные электроды, может нагреваться до 400 °С. Это неприемлемо для большинства термопластичных материалов. Также, сообщается о получении газовых сенсоров на основе ITO для детектирования газа CO с помощью плоттерной печати[2]. Одним из наиболее распространенных методов получения тонких пленок ITO является магнетронное распыление[3]. Свойства получаемых пленок в значительной степени зависят от технологических параметров процесса распыления, таких как давление в камере, мощность разряда и температура подложки. Также для получения ITO могут применяться методы электронно-лучевого и термического испарения, обладающие своими преимуществами и недостатками. Золь-гелевая технология представляет собой альтернативный подход к получению пленок ITO, характеризующийся относительно низкой стоимостью, однако требующий последующей термообработки для улучшения электропроводящих свойств[4]. Для получения пленок ITO с высокой степенью контроля толщины и состава могут быть использованы методы химического осаждения из газовой фазы (CVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD), однако данные методы требуют применения более сложного и дорогостоящего оборудования. [5]. Конкурирующие материалы Главным недостатком оксида индия-олова является его дороговизна (в связи с высоким спросом, цена индия превышала 750 долларов за килограмм), поэтому предлагались другие материалы для прозрачных электродов: Оксид цинка, легированный индием (ZnO-In2O3)[6] Оксид алюминия-цинка (AZO) Оксид олова, легированный фтором (FTO) Оксид олова, легированный сурьмой Графен [7] Проводящие полимеры (в т.ч. PEDOT) Оксид индия, легированный фтором (IFO) Оксид индия, легированный цинком (IZO) Ванадат стронция [8] Ванадат кальция [8] Ссылки Gunar Kaune: Rntgenografische Charakterisierung von Indium-Zinn-Oxid-Dnnschichten. (PDF; 4,4 MB) Архивная копия от 14 февраля 2006 на Wayback Machine Diplomarbeit an der Technischen Universitt Chemnitz, 26. September 2005. Artem S. Mokrushin, Nikita A. Fisenko, Philipp Yu Gorobtsov, Tatiana L. Simonenko, Oleg V. Glumov. Pen plotter printing of ITO thin film as a highly CO sensitive component of a resistive gas sensor (англ.) // Talanta. — 2021-01-01. — Vol. 221. — P. 121455. — ISSN 0039-9140. — doi:10.1016/j.talanta.2020.121455. Амосова Л. П., Исаев М. В. Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку (рус.) // Журнал технической физики : журнал. — 2014. — № 84. Кузнецова, С. А., Халипова, О. С., Лютова, Е. С., & Борило, Л. П. Золь-гель метод получения тонкопленочных оксидных материалов различного назначения: обзор результатов исследований на кафедре неорганической химии Томского государственного университета (рус.) // Вестник Томского государственного университета : журнал. — 2022. — doi:10.17223/24135542/27/3. Архивировано 13 мая 2025 года. Комаров, Ф. Ф., Романов, И. А., Власукова, Л. А., Пархоменко, И. Н., Цивако, А. А., & Ковальчук, Н. С. Резистивное переключение в структурах ITO/SiN \_x/Si (рус.) // Журнал технической физики : журнал. — 2021. — С. 139-144. — doi:10.1134/S1063784221010126. Akhmed Akhmedov, Aslan Abduev, Eldar Murliev, Abil Asvarov, Arsen Muslimov. The ZnO-In2O3 Oxide System as a Material for Low-Temperature Deposition of Transparent Electrodes (англ.) // Materials. — 2021-01. — Vol. 14, iss. 22. — P. 6859. — ISSN 1996-1944. — doi:10.3390/ma14226859. Архивировано 24 марта 2022 года. Jonathan K. Wasseia et. al. Graphene, a promising transparent conductor Materials Today 13, 52 (2010) doi:10.1016/S1369-7021(10)70034-1 1 2 Transparent metal films for smart phone, tablet and TV displays (амер. англ.). phys.org. Дата обращения: 12 июня 2019. Архивировано 21 октября 2018 года.