В начале 1921 года Патриарх Московский и всея России Тихон обратился к архиепископу Рязанскому и Зарайскому Вениамину (Муратовскому) с предложением учредить в епархии «возможно в большем количестве викарные епископии». 27 марта 1921 года собрание духовенства и прихожан Егорьевска поддержало предложение архиепископа Вениамина об учреждении Егорьевского викариатства[1].
В мае 1922 года Егорьевск оказался в составе Московской губернии[1], в связи с чем викариатство было передано в состав Московской епархии.
В 1929—1934 годы Егорьевская кафедра, по-видимому, не замещалась[1]. Возможно, в это период кафедра временно управлялась кем-то из соседних викариев.
26 декабря 2003 года решением Священного синода Русской православной церкви Егорьевское викариатство было восстановлено; епископом Егорьевским стал архимандрит Марк (Головков)[1]. При этом викариатство стало титулярным — резиденция епископа Егорьевского располагается в Москве.
История Иерархии Русской православной церкви: Комментированные списки иерархов по епископам и кафедрам с 862 г. — 2-е изд., испр. и доп.. — М.: Издательство ПСТГУ, 2019. — 960 с. — ISBN 978-5-7429-1201-9.